Dostawa komórek efuzyjnych do maszyny MBE Gen20A

Zamówienie obejmuje:

Dostawa komórek efuzyjnych do maszyny MBE Gen20 A

Część 1: Dostawa komórki efuzyjnej do aluminium do Gen20 A

Część 2: Dostawa dwóch komórek efuzyjnych galowych do maszyny MBE

Część 1. Komórka efuzyjna do aluminium do maszyny Gen20 A w pełni kompatybilna i przetestowana w systemach Gen20 A. Konstrukcja z dwoma strefami grzejnymi oraz dwoma termoparami o podwyższonej stabilności temperatury z zabezpieczeniem przed migracją materiału poza tygiel oraz do wnętrza komórki. Tygiel z p BN o konstrukcji SUMO, zakres temperatury pracy komórki co najmniej do 1200°C, wygrzewanie do min. 1300°C.

Część 2. Przedmiotem zamówienia jest dostawa dwóch komórek efuzyjnych galowych do wzrostu warstw (In,Ga,Al)N metodą epitaksji z wiązek molekularnych (ang. plasma-assisted molecular beam epitaxy - PAMBE). Komórki w pełni kompatybilna z systemem Gen20 A firmy Veeco. Konstrukcja z dwoma strefami grzejnymi oraz dwoma termoparami, tygiel stożkowy z p BN o pojemności co najmniej 60 cm3, zakres temperatury pracy w czasie komórki co najmniej do 1400°C, wygrzewanie co najmniej do 1400°C.

Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia stanowi załącznik nr 2 do SWZ.