Dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej

1. Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej. do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej, ul. Poleczki 19, 02-822 Warszawa.

2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia określony został w załączniku nr 2 do SWZ – Opis przedmiotu zamówienia.

Zamawiający przewiduje prawo opcji polegające na rozszerzeniu zakresu zamówienia o dostawę następujących elementów:

1) Oprogramowanie do modelowania wymiarów nanostruktur periodycznych o zadanej geometrii na bazie pomiaru elipsometrycznego metodą Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA).

2) Dostawa dodatkowego wolnostojącego reflektrometru spektroskopowego o następujących parametrach: a. Urządzenie musi posiadać wszystkie moduły niezbędne do realizacji pomiaru, w tym moduł oświetlenia, światłowód, zasilacz oraz układ detekcji. b. Zakres spektralny pomiaru: 450-900 nm lub szerszy, realizowany za pomocą dostarczonego przez Wykonawcę źródła światła c. Konfiguracja: światłowód zamocowany pionowo nad próbką. d. Oprogramowanie: i. Oprogramowanie umożliwiające szybką analizę wyników i pomiar grubości warstwy ii. Oprogramowanie musi być wyposażone w bazę materiałową uwzględniającą standardowe materiały stosowane w przemyśle półprzewodnikowym, takie jak krzem, tlenek krzemu, azotek krzemu, polimery iii. Oprogramowanie musi umożliwiać dodawanie własnych materiałów za pomocą powszechnie stosowanych modeli dyspersyjnych, w tym modelu Cauchy’ego iv. Oprogramowanie musi być dostarczone w wersji instalacyjnej. e. System operacyjny: zainstalowany system operacyjny Windows 11 Professional PL 64-bit lub równoważny. Parametry równoważności: i. Zainstalowany system niewymagający ręcznego wpisywania klucza licencyjnego i aktywacji za pomocą telefonu lub Internetu; ii. Pełna integracja z domeną Active Directory MS Windows (posiadaną przez Zamawiającego) opartą na systemie Windows Server 2012; iii. Zarządzanie komputerami poprzez Zasady Grup (GPO) Active Directory MS Windows (posiadaną przez Zamawiającego), WMI; iv. Pełna integracja z VPN Forti Client, Microsoft Office 365, Exchange 2019; v. Graficzny interfejs w języku polskim i/lub angielskim vi. Wszystkie w/w funkcjonalności nie mogą być realizowane z zastosowaniem wszelkiego rodzaju emulacji i wirtualizacji Microsoft Windows 11; vii. W przypadku systemu operacyjnego równoważnego należy podać jego nazwę w ofercie oraz załączyć oświadczenie i dokumenty potwierdzające równoważność systemu operacyjnego (dokumenty te stanowią integralną oferty i nie podlegają uzupełnieniu). viii. Odzyskiwanie systemu operacyjnego: partycja recovery lub dołączony nośnik zewnętrzny, umożliwiający przywrócenie systemu operacyjnego do stanu początkowego. ix. W przypadku braku możliwości dostarczenia komputera z systemem operacyjnym opisanym powyżej zamawiający dopuszcza możliwość użycia komputera pośredniczącego w komunikacji z urządzeniem spełniającego opisane wymagania. f. Jednostka sterująca i. Komputer lub zestaw komputerów do sterowania urządzeniem dostosowany do pracy w laboratorium czystym (clean-room) i obsługi w rękawiczkach. ii. Karta sieciowa: wbudowana ze złączem RJ-45 1000 Mb/s z obsługą IEEE 802.1x. iii. Klawiatura w układzie ANSI US QWERTY iv. Monitor o przekątnej co najmniej 24”. g. Dokumentacja techniczna urządzenia i inne. i. Bezterminowa licencja do pełnego wykorzystania urządzenia i jego funkcji do zastosowań zarówno naukowych, badawczo-rozwojowych oraz komercyjnych. ii. Komplet dokumentacji do Urządzenia w języku polskim i/lub angielskim, w tym instrukcja obsługi, pełne schematy elektryczne, optyczne, mechaniczne i systemu próżniowego urządzenia oraz instrukcja obsługi oprogramowania dostarczonego wraz z Urządzeniem. iii. Dokumentacja urządzenia musi być dostarczona w wersji drukowanej (na papierze przystosowanym do laboratorium typu clean-room) oraz w wersji cyfrowej. Pliki cyfrowe powinny być dostarczone na półprzewodnikowym nośniku danych (np. pendrive lub zewnętrzny dysk SSD). iv. Transport, wniesienie oraz ustawienie w odpowiednim miejscu jest po stronie wykonawcy. v. Gwarancja na czas bezawaryjnej pracy urządzenia – 12 miesięcy. Gwarancja obejmuje części zamienne i materiały zużywalne oraz niezbędne roboczogodziny na miejscu w zależności od zaistniałego zdarzenia. Gwarancja obejmuje jednorazową prewencyjną akcję serwisową przed końcem okresu gwarancji. vi. Wykonawca zapewnia dostęp do części zamiennych do urządzenia przez co najmniej 7 lat od dostarczenia urządzenia. h. Urządzenie musi umożliwiać pomiar grubości monowarstw w zakresie od 30 nm do 15 µm lub szerszym. i. Urządzenie musi zapewniać dokładność pomiaru grubości nie gorszą niż 1 nm dla pomiaru tlenku krzemu (grubość rzędu 100-500 nm) na podłożu krzemowym. Dopuszczalny rozrzut wyników pomiaru grubości PMMA na podłożu krzemowym (rzędu 100-500 nm) z 5 niezależnych pomiarów w tym samym punkcie nie może być większy niż 1,0%. spełniających wymagania określone w opisie przedmiotu zamówienia w rozdziale J. Warunki realizacji prawa opcji zostały określone w we wzorze umowy (załącznik nr 3 do SWZ)