Dostawa dwóch reaktorów do epitaksji z fazy gazowej z użyciem związków metaloorganicznych (MOVPE).

PLEASE SCROLL DOWN FOR THE ENGLISH VERSION Przedmiotem zamówienia jest sprzęt przeznaczony do wzrostu epitaksjalnego materiałów na bazie Ga N (Ga N, Al Ga N, In Ga N). Sprzęt składa się z konfiguracji 3x2” podłoża, systemu kontroli dostarczania materiałów źródłowych, który obejmuje 8 linii substancji metaloorganicznych (MO) (co najmniej 6 linii), 2 systemów linii wodorkowych, poziomego reaktora z komorą rękawicową + komorą przelotową, strefowego oporowego systemu grzewczego, systemu pomp próżniowych, pełnego systemu bezpieczeństwa oraz komputerowego systemu do pomiarów i sterowania. Reaktor wymaga zastosowania typu kanału przepływu poziomego, który powinien być zbudowany z trzech części (początkowa, środkowa i końcowa), a część środkowa powinna być wymienna w celu ułatwienia konserwacji. Wtrysk gazu powinien być potrójny, aby kontrolować jednorodną fazę gazową. Wykonawca powinien dostarczyć następujące dane referencyjne:

1. Szybkość wzrostu powyżej 2 µm/h przy jednoczesnej niskiej koncentracji węgla (<10¹⁶ cm⁻³).

2. Aby kontrolować wysoką zawartość Al w zakresie 50 ~ 80%, utrzymywać stały stosunek V/III "powyżej 1400" oraz tempo wzrostu "powyżej 3 µm/h".

3. Warstwa Al N krystalizująca z tempem wzrostu powyżej 15 µm/h. 4. *n-, p-domieszkowane warstwy Ga N, Al Ga N, In Ga N krystalizowane pod ciśnieniem atmosferycznym. ENGLISH VERSION The subject of the order is equipment used for epitaxial growth of Ga N-based materials (Ga N, Al Ga N, In Ga N). The Equipment consists of 3x2” wafer configuration, source material supply control system which includes 8 metalorganic (MO) line systems (at least 6 lines), 2 hydride line systems, a horizontal reactor with a glove-box + a pass-box, a resistance zone heating system, a vacuum pumping system, a full safety system, and a computer measuring and control system. Reactor requires Horizontal Flow channel type, those parts should be structured three parts (upstream, middle and downstream) and middle parts can be replacement for easy maintenance and gas injection should be triple flow Injected to control uniform gas phase. Contractor should supply the following reference data 1. Growth Rate over 2 um/h with low carbon concentration (<1016 cm-3) simultaneously

2. To control high Al content 50 ~ 80% range, keep constant V/III ratio “over 1400” and Growth Rate “over 3 um/h”

3. Al Nlayer grown over 15 um/h as Growth Rate 4. *n-, p- doped Ga N, Al Ga N, In Ga N able to growth under atmospheric pressure

1. Oferta którą składa Wykonawca powinna zawierać:

1.1. Wypełniony formularz oferty - wzór-Załącznik nr 1 do SWZ.

1.2. Pełnomocnictwo w formie zgodnej z wymaganiem określonym w ust. 12.6 SWZ jeżeli ustanowiono pełnomocnika;

1.3. Odpis lub informacja z Krajowego Rejestru Sądowego, Centralnej Ewidencji i Informacji o działalności Gospodarczej lub innego właściwego rejestru w celu potwierdzenia, że osoba działająca w imieniu Wykonawcy jest umocowana do jego reprezentowania lub dane umożliwiające dostęp do tych dokumentów za pomocą bezpłatnych i ogólnodostępnych baz danych.

1.4. Oświadczenie, z którego wynika, że w stosunku do wykonawcy nie zachodzi podstawa wykluczenia przewidziana w art. 5k rozporządzenia 833/2014 w brzmieniu nadanym rozporządzeniem 2022/576 oraz art. 7 ust. 1 Ustawy z dnia 13 kwietnia 2022 r. o szczególnych rozwiązaniach w zakresie przeciwdziałania wspieraniu agresji na Ukrainę oraz służących ochronie bezpieczeństwa narodowego (Dz. U. z 2022 r. poz. 835)- (wzór Zał. nr 2 do SWZ)

1.5. Przedmiotowe środki dowodowe, o których mowa w ust. 7.7 SWZ – specyfikacje techniczne.

2. Szczegółowe informacje o dokumentach składanych wraz z ofertą znajdują się w rozdziale 12 SWZ 3. Zamawiający wezwie Wykonawcę, którego oferta została najwyżej oceniona, do złożenia w wyznaczonym terminie, nie krótszym niż 10 dni od dnia wezwania, aktualnych na dzień złożenia następujących podmiotowych środków dowodowych: 3.1. informacji z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie art. 108 ust. 1 pkt 1 i 2 Ustawy oraz art. 108 ust. 1 pkt 4 Ustawy, dotyczącej orzeczenia zakazu ubiegania się o zamówienie publiczne tytułem środka karnego 3.2. oświadczenia Wykonawcy, w zakresie art. 108 ust. 1 pkt 5 ustawy Pzp, wzór - Zał. nr 3 do SWZ. 3.3 oświadczenia, o którym mowa w art. 125 ust. 1 oraz w pkt 7.8 SWZ – formularz JEDZ - wzór - Załącznik nr 5 do SWZ. Zgodnie z art. 139 ust 2 Zamawiający żąda powyższego oświadczenia wyłącznie od wykonawcy, którego oferta została najwyżej oceniona. 3.4. oświadczenia Wykonawcy o aktualności informacji zawartych w formularzu JEDZ, w zakresie podstaw wykluczenia z postępowania wskazanych przez Zamawiającego, o których mowa w:

a) art. 108 ust. 1 pkt 3 Ustawy,

b) art. 108 ust. 1 pkt 4 Ustawy, dotyczących orzeczenia zakazu ubiegania się o zamówienie publiczne tytułem środka zapobiegawczego,

c) art. 108 ust. 1 pkt 5 Ustawy, dotyczących zawarcia z innymi wykonawcami porozumienia mającego na celu zakłócenie konkurencji,

d) art. 108 ust. 1 pkt 6 Ustawy, (wzór – zał. nr 4 do SWZ) 3.5. oświadczenia, o którym mowa w art. 125 ust. 1 oraz w pkt 7.8 niniejszej SWZ – formularz JEDZ - wzór - Załącznik nr 5 do SWZ. Zgodnie z art. 139 ust 2 Zamawiający żąda powyższego oświadczenia wyłącznie od wykonawcy, którego oferta została najwyżej oceniona.

4. Wykonawca nie jest zobowiązany do złożenia podmiotowych środków dowodowych, jeżeli może je uzyskać za pomocą bezpłatnych i ogólnodostępnych baz danych, w szczególności rejestrów publicznych w rozumieniu ustawy z 17 lutego 2005 r. o informatyzacji działalności podmiotów realizujących zadania publiczne, o ile Wykonawca wskazał w oświadczeniu, o którym mowa w art. 125 ust. 1 ustawy – formularzu JEDZ, dane umożliwiające dostęp do tych środków

5. Jeżeli Wykonawca ma siedzibę lub miejsce zamieszkania poza terytorium Rzeczypospolitej Polskiej składa informacje wskazane w ust 7.3 SWZ.

6. W przypadku Wykonawców wspólnie ubiegających się o udzielenie zamówienia podmiotowe środki dowodowe - na potwierdzenie braku podstaw wykluczenia, składa każdy z Wykonawców występujących wspólnie.

7. Szczegółowe informacje na temat wymaganych oświadczeń, dokumentów, podmiotowych i przedmiotowych środków dowodowych znajdują się w rozdziale 7 SWZ 8. Zamawiający, zgodnie z art. 139 Ustawy, przewiduje odwróconą kolejność czynności.

9. Zamawiający może unieważnić postępowanie na podstawie art.257 ustawy.

10. Projektowane postanowienia umowy, w tym informacje na temat płatności stanowi Załącznik nr 6 do SWZ.

11. Postępowanie prowadzone jest w języku polskim i angielskim. Wszelkie oświadczenia, zawiadomienia będą sporządzane w języku polskim i angielskim. Umowa sporządzona będzie w języku polskim i angielskim. Zamawiający prowadzi postępowanie w dwóch językach zgodnie z art. 20 ust. 3 ustawy Pzp, z powodu możliwości poszerzenia kręgu wykonawców i z uwagi na specjalistyczny przedmiot zamówienia. W przypadku rozbieżności pomiędzy obiema wersjami językowymi rozstrzygająca będzie polska wersja językowa.

1. W celu wykazania, że brak jest podstaw do wykluczenia z postępowania, Wykonawca, którego oferta została najwyżej oceniona, zobowiązany jest złożyć Jednolity Europejski Dokument Zamówienia (JEDZ) wzór - Załącznik nr 5 do SWZ. Zgodnie z art. 139 ust 2 Zamawiający żąda powyższego oświadczenia wyłącznie od wykonawcy, którego oferta została najwyżej oceniona.

2. Źródło podstaw wykluczenia - dokumenty zamówienia punkt 5 SWZ.

PLEASE SCROLL DOWN FOR THE ENGLISH VERSION Przedmiotem zamówienia jest sprzęt przeznaczony do wzrostu epitaksjalnego materiałów na bazie Ga N (Ga N, Al Ga N, In Ga N). Sprzęt składa się z konfiguracji 3x2” podłoża, systemu kontroli dostarczania materiałów źródłowych, który obejmuje 8 linii substancji metaloorganicznych (MO) (co najmniej 6 linii), 2 systemów linii wodorkowych, poziomego reaktora z komorą rękawicową + komorą przelotową, strefowego oporowego systemu grzewczego, systemu pomp próżniowych, pełnego systemu bezpieczeństwa oraz komputerowego systemu do pomiarów i sterowania. Reaktor wymaga zastosowania typu kanału przepływu poziomego, który powinien być zbudowany z trzech części (początkowa, środkowa i końcowa), a część środkowa powinna być wymienna w celu ułatwienia konserwacji. Wtrysk gazu powinien być potrójny, aby kontrolować jednorodną fazę gazową. Wykonawca powinien dostarczyć następujące dane referencyjne:

1. Szybkość wzrostu powyżej 2 µm/h przy jednoczesnej niskiej koncentracji węgla (<10¹⁶ cm⁻³).

2. Aby kontrolować wysoką zawartość Al w zakresie 50 ~ 80%, utrzymywać stały stosunek V/III "powyżej 1400" oraz tempo wzrostu "powyżej 3 µm/h".

3. Warstwa Al N krystalizująca z tempem wzrostu powyżej 15 µm/h. 4. *n-, p-domieszkowane warstwy Ga N, Al Ga N, In Ga N krystalizowane pod ciśnieniem atmosferycznym. ENGLISH VERSION The subject of the order is equipment used for epitaxial growth of Ga N-based materials (Ga N, Al Ga N, In Ga N). The Equipment consists of 3x2” wafer configuration, source material supply control system which includes 8 metalorganic (MO) line systems (at least 6 lines), 2 hydride line systems, a horizontal reactor with a glove-box + a pass-box, a resistance zone heating system, a vacuum pumping system, a full safety system, and a computer measuring and control system. Reactor requires Horizontal Flow channel type, those parts should be structured three parts (upstream, middle and downstream) and middle parts can be replacement for easy maintenance and gas injection should be triple flow Injected to control uniform gas phase. Contractor should supply the following reference data 1. Growth Rate over 2 um/h with low carbon concentration (<1016 cm-3) simultaneously

2. To control high Al content 50 ~ 80% range, keep constant V/III ratio “over 1400” and Growth Rate “over 3 um/h”

3. Al Nlayer grown over 15 um/h as Growth Rate 4. *n-, p- doped Ga N, Al Ga N, In Ga N able to growth under atmospheric pressure

1. Środki ochrony prawnej przysługują Wykonawcy lub innemu podmiotowi, jeżeli ma lub miał interes w uzyskaniu zamówienia oraz poniósł lub może ponieść szkodę w wyniku naruszenia przez Zamawiającego przepisów ustawy pzp.

2. Środki ochrony prawnej wobec ogłoszenia wszczynającego postępowanie o udzielenie zamówienia lub ogłoszenia w konkursie przysługują również organizacjom wpisanym na listę, o której mowa w art. 469 pkt 15 ustawy pzp oraz Rzecznikowi Małych i Średnich Przedsiębiorców.

3. Odwołanie przysługuje na:

3.1 niezgodną z przepisami ustawy pzp czynność Zamawiającego, podjętą w postępowaniu o udzielenie zamówienia, w tym na projektowane postanowienie umowy;

3.2 zaniechanie czynności w postępowaniu o udzielenie zamówienia, do której Zamawiający był obowiązany na podstawie ustawy pzp.

4. Odwołanie wnosi się do Prezesa Krajowej Izby Odwoławczej. Odwołujący przekazuje kopię odwołania Zamawiającemu przed upływem terminu do wniesienia odwołania w taki sposób, aby mógł on zapoznać się z jego treścią przed upływem tego terminu.

5. Odwołanie wobec treści ogłoszenia lub treści SWZ wnosi się w terminie 10 dni od dnia publikacji ogłoszenia w Dzienniku Urzędowym Unii Europejskiej lub zamieszczenia dokumentów zamówienia na stronie internetowej.

6. Odwołanie wnosi się w terminie: 6.1 10 dni od dnia przekazania informacji o czynności zamawiającego stanowiącej podstawę jego wniesienia, jeżeli informacja została przekazana przy użyciu środków komunikacji elektronicznej; 6.2 15 dni od dnia przekazania informacji o czynności zamawiającego stanowiącej podstawę jego wniesienia, jeżeli informacja została przekazana w sposób inny niż określony w pkt 6.1.

7. Odwołanie w przypadkach innych niż określone w ust. 5 i 6 wnosi się w terminie 10 dni od dnia, w którym powzięto lub przy zachowaniu należytej staranności można było powziąć wiadomość o okolicznościach stanowiących podstawę jego wniesienia

8. Na orzeczenie Krajowej Izby Odwoławczej oraz postanowienie Prezesa Krajowej Izby Odwoławczej, o którym mowa w art. 519 ust. 1 ustawy pzp, stronom oraz uczestnikom postępowania odwoławczego przysługuje skarga do sądu. Skargę wnosi się do Sądu Okręgowego w Warszawie za pośrednictwem Prezesa Krajowej Izby Odwoławczej.

9. Szczegółowe informacje dotyczące środków ochrony prawnej określone są w Dziale IX „Środki ochrony prawnej” ustawy pzp.